Скрайбирование и разделение полупроводниковых пластин с двухсторонним оптическим покрытием

著录项

• 作者

  Григорьев, С. Е.; Мулинов, Д. А.; Прокопьев, О. Г.; Жуков, Ю. Н.;

  展开▼
• 作者单位

  展开▼
• 年度 2004
• 总页数
• 原文格式 PDF
• 正文语种 ru
• 中图分类